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ion beam
사용
이온빔 전원은 Linear ion beam (Closed-drift 또는 Anode-layer ion beam)에 주로 사용되며, 넓은 면적에 균일한 이온빔을 발생시키고 1mJ/ 1kW이하의 아크에너지 특성을 가진다. 응용으로는 세정(Cleaning), 이온보조증착(Ion beam assisted deposition), 그리고 DLC 증착과 같은 직접증착(Direct deposition) 등에 주로 응용되고 있다.
 
정격사항
Model Power Specifications Type Remarks
Forte I-252 5 kW 2500V / 2A , 1mJ/1kW DC  
Forte I-302 6 kW 3000V / 2A , 1mJ/kW DC  
EnerStream 5I 5 kW 800V / 12.5A , 0.5mJ/1kW DC  
 
 
     
   
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